离子减薄仪是一种用来制备透射电镜样品的设备，其原理是利用被电离的氩离子轰击样品表面，从而使样品减薄，达到透射电镜观察要求。页岩中的微孔隙及微裂缝是页岩气储存空间及流通通道，有重要的研究价值，然而页岩中的孔隙微小，多为纳米级，用传统的制样方法很难观察到。
 

　　离子减薄仪的工作原理：
 

　　该仪器利用高压对氩气进行电离，电离后的氩离子在电场作用下，轰击样品表面，样品在氩离子的不断轰击下逐渐减薄，直至满足透射电镜观察要求。氩离子抛光仪与离子减薄仪工作原理一致，也是用氩离子轰击样品表面，使样品表面变的光滑平整，所以设备基本结构不需要改动。
 

　　离子减薄仪专门为制备透射样品而设计(透射电镜样品为直径3 mm，厚度几个微米的薄片)，为了满足设备工作条件，扫描电镜样品需要进行预处理，首先把样品切割成1 mm厚的薄片，再用砂纸对样品表面进行打磨，对样品表面打磨时，砂纸选择要由粗到细，砂纸目数为2000~3000目。
 

　　透射电镜样品尺寸很小，样品要粘在载片中间的小孔上。扫描电镜观察的样品尺寸比透射样品大的多，为了提高效率，一次可以多放几个个样品，用热熔胶固定在样品台上。接下来的工作是调整工作参数，包括电压、氩离子流，样品倾角、抛光时间等。增加工作电压和氩离子流可以提高抛光效率，但是这两个参数过高容易对样品造成损伤；样品倾角大，抛光面积小，效率高，样品倾角小。